Litteraturanvisning
Britt Ekvall och Mikkel Cronquist (redaktörer), Micro Electro Mechanical Systems (2011)
Information om artikeln
Medverkande
Bertil Hök, Jan-Åke Schweitz
Källangivelse
Nationalencyklopedin, mikromekanik. https://www.ne.se/uppslagsverk/encyklopedi/lång/mikromekanik/litteraturanvisning (hämtad 2025-04-06), NE Nationalencyklopedin AB