Tillverkning
I tillverkningen av de flesta mikromekaniska komponenter och system utnyttjas ett litografiskt mönster som med ultraviolett ljus, röntgen- eller elektronstrålning överförs till ytan på det material som ska bearbetas. Bearbetningen sker därefter antingen additivt genom deponering eller subtraktivt genom etsning.
Information om artikeln
Medverkande
Bertil Hök, Jan-Åke Schweitz
Källangivelse