Produktion av nanostrukturer
Den tekniska utvecklingen av elektronmikroskop och svepprobsmikroskop har fått avgörande betydelse för nanotekniken genom möjligheten att studera strukturer på atomnivå. Viktiga metoder för framställning av nanostrukturer är bland annat litografi och epitaxi. Litografi (till exempel UV-litografi och elektronstrålelitografi) innebär att nanostrukturer karvas ut ur ett material med större mått, så
Information om artikeln
Medverkande
Maria Messing
Källangivelse