Marieholm återgår på två gårdar, Tuna och Tunaholm, kända sedan 1200-talet. Tunaholm förvärvades av Gustav Vasa 1559 och Tuna av Erik XIV 1562. Namnet Marieholm nämns tidigast 1582. Från 1660 var Marieholm residens för landshövdingen i Skaraborgs län.