Mikrofossil omfattar vitt skilda fossilgrupper, t.ex. protozoer och alger (bl.a. foraminiferer, radiolarier och kiselalger), pollen och sporer, flercelliga djur (t.ex. musselkräftor) och smärre delar av flercelliga djur (t.ex. skelettnålar, spikler, från sjögurkor samt maskkäkar, scolecodonter). Vid mikrofossilanalys artbestäms och kvantifieras olika mikrofossilgrupper. Preparerings- och analysmetoder varierar, beroende på den