Den viktigaste komponenten är en kylmaskin som kyler ner en platta till lägre än 20 K. Vakuum erhålls genom att de flesta gaser kondenseras till vätska på denna platta på grund av kalla väggens lag. (I vissa pumpar kan gaserna även adsorberas på speciella ytor.) Kryopumpar är framför allt användbara inom tryckområdet 10