Mätmetoden bygger på att provet sönderdelas i atomer. Det sker genom att man antingen sprutar in provet i en låga (vanligen acetylen-luft-brännare) eller upphettar provet i ett grafitrör. För att mäta mängden av ämnet i lågan eller grafitröret utnyttjar man strålningen från en ljuskälla som utsänder ett för ämnet karakteristiskt