förstoftning
förstoftning, engelska sputtering, metod för framställning av tunna filmer vilken kännetecknas av att utgångsmaterialet utgör katod vid en potential vanligen mellan −100 och −10 kV.
Katoden befinner sig i ett plasma, oftast bestående av joniserad argongas. Den negativa potentialen medför att katoden bombarderas av positiva gasjoner med avsevärd rörelseenergi. Därvid slås atomer, joner eller grupper av sådana ut ur katoden, genomkorsar plasmat och bildar en film av katodmaterialet på ett substrat. Karaktäristiskt är att de
Information om artikeln
Källangivelse