sputtring
sputtring (engelska sputtering, av sputter ’sprätta’; ’spotta’; ’fräsa’), katodförstoftning, metod för framställning av tunna filmer.
En katod bombarderas av positiva joner från ett plasma, vars yta eroderas till fria atomer, joner, atomära kluster eller molekyler, som passerar plasmat och växer till en film på ett substrat. Sputtring utförs i en vakuumkammare, vilken efter urpumpning återfylls med en ädelgas, vanligen argon, i tryckområdet 1–10 Pa. När
Information om artikeln
Källangivelse