Den bygger på att ett prov som bestrålas sänder ut karakteristisk röntgenstrålning, vilken avslöjar förekomsten av olika grundämnen i provet. Mängden av ämnen tyngre än aluminium kan bestämmas med relativt enkel apparatur ned till ppm eller därunder. Provet behöver ingen eller mycket ringa förbehandling, varför metoden är snabb och bekväm.