planaʹrteknologi, vetenskapen om planartekniken som används inom elektroniken. Denna använder fotolitografiska

(11 av 27 ord)
Vill du få tillgång till hela artikeln?

Källangivelse
Nationalencyklopedin, planarteknologi. http://www.ne.se/uppslagsverk/encyklopedi/lång/planarteknologi