etsning
etsning (av etsa, av likabetydande tyska ätzen egentligen ’låta äta’), mönsteretsning, inom halvledartekniken en framställningsmetod där mönstret bestäms av t.ex. en fotolitografiskt framställd mask.
Tekniken har stor industriell betydelse inom mikroelektronik samt fin- och mikromekanik. Mönsteretsning av kopparfolie på polymerlaminat används vid tillverkning av kretskort inom elektroniken. Vid mönsteretsning av integrerade kretsar på kiselsubstrat kan noggrannheten vid mönstrets överföring vara bättre än 1 μm.
Information om artikeln
Källangivelse