I skalans övre del överlappar mikromekanik finmekanik, och i dess nedre del gränsar den till nanotekniken. Flertalet mikromekaniska komponenter är för närvarande 1–1 000 μm i utsträckning. Mikromekanikens framställningsmetoder är ofta beröringsfria, till skillnad från finmekanikens men i likhet med mikroelektronikens. Tillverkningskostnaden blir låg eftersom ett stort antal komponenter kan produceras